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分子泵

分子泵

安捷伦提供一系列稳定可靠的涡轮分子真空泵和控制器,为学术界的广泛应用提供可靠的真空环境, 研究, 纳米技术, 分析仪器及工业. 安捷伦的涡轮分子泵提供70-2300升/秒的泵速,并具有许多创新设计, 以全面的检测和可靠的售后支持为后盾.

分子泵概述

安捷伦提供一系列稳定可靠的涡轮分子真空泵和控制器,为学术界的广泛应用提供可靠的真空环境, 研究, 纳米技术, 分析仪器及工业. 安捷伦的涡轮分子泵提供70-2300升/秒的泵速,并具有许多创新设计, 以全面的检测和可靠的售后支持为后盾.


安捷伦扭扭技术
-泵送效果所需的动量来自转子盘,并被转移到气体分子.
-气体分子被迫沿着定子圆盘内的螺旋通道运动. 通道的特殊设计确保了恒定的局部泵速,避免了反向压力梯度,从而显着降低了功耗.

向心泵送作用
转子盘的较低表面积将动量传递给气体分子.
向心泵送是由位于TwisTorr定子圆盘上表面的螺旋通道产生的.
离心泵
转子盘的上表面积将动量传递给气体分子.

良好的性能
TwisTorr泵为所有气体提供一流的泵速.
-先进的TwisTorr技术还可以在市售的涡轮分子泵中实现轻质气体的高压缩比.
-同时实现高性能, 与以前的设计相比,新的阻力级设计可将平均功耗降低四分之一.

节省空间的设计
我们的转子是基于经过验证的安捷伦一体式转子设计, 其中,扭转或定子盘被放置在两个光滑的转子盘之间, 允许泵通过两个转子盘表面串联连接来实现.
扭转或定子盘被放置在两个光滑的转子盘之间, 允许泵送通过两个转子盘表面串联
TwisTorr定子圆盘的双面螺旋通道设计结合了向心和离心泵串联, 显著减小了拖曳阶段的尺寸.

压缩比
-单个TwisTorr级提供的N2压缩量是相同大小和速度的MacroTorr级的100倍, 不降低前级压力或泵速.

分子泵技术参数

分子泵基本配置

半导体
IC
晶片

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